表面粗糙度的測量方法基本上可分為接觸式測量和非接觸式測量兩類。在接觸式測量中主要有比較法、印模法、觸針法等；非接觸測量方式中常用的有光切法、實時全息法、散斑法、像散測定法、光外差法、AFM、光學傳感器法等。

　　電感傳感器是表面粗糙度測量儀的主要部件之一，在傳感器測桿的一端裝有金剛石觸針，觸針曲率半徑很小，測量時將觸針搭在工件上，與被測表面垂直接觸，利用驅動器以一定的速度拖動傳感器。由于被測表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測表面滑行時，將產生上下移動。此運動經支點使磁芯同步地上下運動，從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發(fā)生變化。傳感器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的，線圈電感量的變化使電橋失去平衡，于是就輸出一個和觸針上下的位移量成正比的信號，經電子裝置將這一微弱電量的變化放大、相敏檢波后，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號。此后，將信號分成三路：一路加到指零表上，以表示觸針的位置，一路輸至直流功率放大器，放大后推動記錄器進行記錄；另一路經濾波和平均表放大器放大之后，進入積分計算器，進行積分計算，即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。

　　評價粗糙度參數的根據是粗糙度輪廓，是對原始輪廓用一個輪廓濾波器，抑制掉長波成份而得到。是輪廓偏離平均線的算術平均，并且是在一個取樣長度內定義的。影響濾波數據的因素有：1、取樣長度和評定長度的選用:取樣長度是用于判別具有表面粗糙度特性的一段基準線長度。評定長度是用于評定粗糙度時必須取一段能反映加工表面粗糙度特性的小長度。2、濾波器的高、低通取樣長度和帶寬比的選用也對測量結果有著十分重要的影響。取樣波長是表面形貌測量時，儀器響應的表面特性（表面波長）的長間距，其范圍通常是0.08mm～8mm。